超純水儀主要包括預處理單元和反滲透（RO）單元，由于預處理后的水將通過反滲透進行再一步的凈化，所以一定要盡量去除對反滲透膜有影響的雜質；主要包括大顆粒物質、余氯以及鈣離子鎂離子，必須要根據進水水質的差異針對性地配備不同的處理單元，多數超純水儀廠家并不能很好幫助客戶解決這個問題，這會導致后續的純化無法達到理想結果并縮短反滲透膜等儀器主要部件的壽命。
　　超純水儀的超純水系統很好的解決了這一問題，線繞過濾器、活性碳吸附過濾器以及軟化樹脂針對性地去除水中大顆粒物質、余氯以及鈣離子鎂離子，達到佳的預處理效果，超純水儀是使用一個高壓泵對高濃度溶液提供比滲透壓差大的壓力，水分子將被迫通過半透膜到低濃度的一邊，反滲透可以濾除90%-99%的包括無機離子在內的絕大多數污染物。
　　因為它出眾的純化效率，反滲透是水純化系統的一個非常有效的技術，因為反滲透能去除大部分的污物，所以它經常被用作為前道處理手段，能顯著地延長去離子交換柱的使用時間。鑒于反滲透在水質純化過程中是非常關鍵并且反滲透膜的更換價格較高，建議用戶一定要選擇對反滲透膜有保護功能的超純水系統。
　　為了盡可能延長反滲透膜的使用壽命以及提高反滲透膜的過濾效率，超純水儀系統采用了先進的*技術，結合的反滲透限流設計，在出水處有限流閥，使反滲透膜始終浸泡在水中，不致因變干而影響壽命，延長了反滲透膜壽命就是保證了出水水質，同時也提升了超純水系統的性價比。